PRODUCTS AND SERVICES
產品與服務
製程精密溫濕度控制機組(TCU-S)
提供晶圓廠、封裝測試廠溫濕度控制、流場控制、靜電去除，確保曝光、顯影、塗佈設備等製程良率。
低濕式恆溫機(TCU-D)
以恆溫設備作為基礎，結合除溼轉輪達到低溼且恆溫之空氣。
依製程需求調整溼度與溫度。
冷卻水控制機(DCC&CWC)
提供節能且精密溫度控制之循環液體，滿足不同製程之溫度需求。
製程精密溫濕度及水冷控制機(THC)
-高精密氣體溫度控制
-高精度流體溫度控制
-處理風量依需求調整
-流體迴路數量依需求調整
精密製程微環境機組(ENC)
1. 溫溼度控制
2. 流場調節分佈、防止揚塵、優化潔淨度
3. 機台警報、遠端監測，及自動防護功能
4. 模組化安裝快速
5. 依需求客製