1. 改善流場
2. 高壓防結晶
3. 晶圓溫度冷卻
4. 高溫排氣
1. 節能熱泵系統 EHP
2. 直接冷卻系統 DCS
3. 智慧節能軟體 SES
4. 節能噴霧加濕器 EFH
• 無須電熱器即可精密溫控
• 輔助系統擴充溫度範圍
• 高效率降溫/溫控/致冷專利
• 大幅減少冷媒使用
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