製程環境設備
精密製程環境設備
精密製程微環境機組(ENC)
1. 溫溼度控制
2. 流場調節分佈、防止揚塵、優化潔淨度
3. 機台警報、遠端監測，及自動防護功能
4. 模組化安裝快速
5. 依需求客製
2. 流場調節分佈、防止揚塵、優化潔淨度
3. 機台警報、遠端監測，及自動防護功能
4. 模組化安裝快速
5. 依需求客製
FUNCTIONS & BENEFITS
功能/效益
提供輕量化與模組化的Enclosure設計，搭配CHD精密溫溼度控制設備，確保內部環境穩定性，提高製程良率。
SIMULATION
流場模擬
無塵室的流場模擬（CFD）是確保氣流維持層流（Laminar Flow）的關鍵，能精準預測並消除容易累積污染物的渦流死角。
透過模擬設備擺放對氣流的干擾，可優化回風設計與壓差控制，確保微粒能依循最短路徑排出，是極致良率控管中不可或缺的預防性設計手段。
DESIGN ADVANTAGE
設計優勢
輕量化 Lightweight
在不犧牲結構強度的前提下，輕量化設計零組件並維持功能的同時減少重量提高便利性。
模組化 Modular Architecture
加入模組化架構設計，提高零組件共用性，維護停機所需時間。
可視化 Visualization
配合機構設計，製作前進行氣流模擬，提供具參考性之結果，減少無效設計。
極佳環境穩定性 Stability
搭配CHD溫溼度控制設備，提供高精度溫溼度與微粒控制。
PRODUCT ADVANTAGES
產品優勢
01
Advantages
模組化
Modular
PRODUCT APPLICATIONS
產品應用
搭接設備
Coater/Developer
Exposure tool
客戶與實績
01
半導體製造
02
薄型平面顯示器(FPD)
