PRODUCTS AND SERVICES
產品與服務
PROCESS ENVIRONMENT EQUIPMENT
製程環境設備
精密製程環境設備
Precision Process Environmental Control Equipment
奇鼎提供製程環境控制設備，客戶包含晶圓廠、封裝測試廠、面板業精密溫濕度控制，確保曝光、顯影、塗佈設備等製程良率，適用於光阻塗佈/顯影設備、曝光機、蝕刻/去光阻設備、晶圓清洗機等半導體製程設備，並且突破外商壟斷，擁有全球第一溫度控制精度，達到±0.001℃的溫度控制精度及±0.3%RH的溼度精度。
精密製程環境控制專家——締造全球第一溫控精度
奇鼎科技專注於提供頂尖的「製程環境控制設備」，服務範疇涵蓋晶圓製造、封裝測試及面板產業。以領先全球的精密控制技術，為客戶守護製程良率。
我們的設備擁有世界級的精準度，溫度控制精度達 ±0.001°C，濕度控制精度達 ±0.3%RH。此高規格環境控制廣泛應用於高精密半導體設備，包括光阻塗佈/顯影設備、曝光機、蝕刻/去光阻設備及晶圓清洗機。奇鼎致力於為曝光、顯影、塗佈等關鍵製程創造最穩定的生產環境，是您提升良率的最佳合作夥伴。
FLOWCHART
服務流程
01
需求討論
Demand Discussion
客戶需求訪談，確認合適的設備規格與解決方案。
02
客製化設計
Customize Design
針對目標需求，客製化設計規格與解決方案。
03
設備安裝
Imstallation
現場設備安裝，管線與電路配置。
04
測試/驗收
Acceptance Check
專業團隊現場測試，確保設備運行穩定。
05
售後服務
After-sales Service
專業售服團隊，及時解決客戶問題。
06
製程優化/調整
After-sales Service
針對現有問題與特點，提供製程優化與調整方案。
01
需求討論
02
客製化設計
03
設備安裝
04
測試/驗收
05
售後服務
06
製程優化/調整
ECO CHD
永續產品
- ESG產品 -
ECO CHD
永續產品
曝光機鏡組霧化防護機組
Thermal AMC Unit
- 防止曝光設備鏡面霧化，延長鏡組使用年限
- 獨家水洗技術去除製程揮發性有機物，節能且環保
- Running Cost ↓35%
直接冷卻系統
Direct Cooling System
- 使用精密熱泵回收技術替代電熱，相較傳統機種，節能率大幅提升。
- Running Cost ↓67%
低濕型恆溫恆濕設備
TCU– Dry type
- 以恆溫設備作為基礎，結合除濕轉輪達到低濕且恆溫之空氣。
- 提供<1%RH 或 露點 0~-35℃的極低溼空氣。
精密溫濕度及水冷控制機
Thermal Humidity and Chiller unit
- 相較市面機種，減少電力消耗15%、佔地面積減少30%。
- Running Cost ↓15%
濕式製程AMC去除設備
Wet AMC Control Unit
- 相較傳統機種，節能率10-20%、營運成本減少32%。
- Running Cost ↓32%
精密溫濕度設備
Thermal Control Unit Gen.2.0
- 使用精密熱泵回收技術替代電熱，相較傳統機種，節能率大幅提升。
- Running Cost ↓67%
ECO CHD
永續產品
曝光機鏡組霧化防護機組
Thermal AMC Unit
- 防止曝光設備鏡面霧化，延長鏡組使用年限
- 獨家水洗技術去除製程揮發性有機物，節能且環保
- Running Cost ↓35%
直接冷卻系統
Direct Cooling System
- 使用精密熱泵回收技術替代電熱，相較傳統機種，節能率大幅提升。
- Running Cost ↓67%
低濕型恆溫恆濕設備
TCU– Dry type
- 以恆溫設備作為基礎，結合除濕轉輪達到低濕且恆溫之空氣。
- 提供<1%RH 或 露點 0~-35℃的極低溼空氣。
精密溫濕度及水冷控制機
Thermal Humidity and Chiller unit
- 相較市面機種，減少電力消耗15%、佔地面積減少30%。
- Running Cost ↓15%
濕式製程AMC去除設備
Wet AMC Control Unit
- 相較傳統機種，節能率10-20%、營運成本減少32%。
- Running Cost ↓32%
精密溫濕度設備
Thermal Control Unit Gen.2.0
- 使用精密熱泵回收技術替代電熱，相較傳統機種，節能率大幅提升。
- Running Cost ↓67%
INDUSTRIAL APPLICATIONS
產業應用
奇鼎科技提供半導體、電子製造、零組件材料等產業，提供高規格精密空調設備與節能工程服務，完整一站式服務，提升整體生產效能與永續競爭力
產業應用
半導體
電子製造
光電面板
