技術分享｜無塵室與空調設計之關鍵速算公式解析

永續捕手：有機氣體逸散防止操作箱，有效降低 VOC 排放

在半導體與高科技製程中，設備清潔與維護是確保製程穩定的重要環節。然而，清機過程中若使用高揮發性清潔液體，容易產生揮發性有機化合物（Volatile Organic Compounds, VOCs），並逸散至作業環境中。尤其當負壓排氣管道出現堵塞或排氣效率不穩定時，VOC 外洩風險將進一步提高，不僅可能影響作業人員健康，也會增加廠區環境排放負荷，成為企業推動 ESG 與環安衛管理時必須面對的重要課題。

永續盾牌：EcoShield Wet-Scrubber，打造高科技製程的智慧防護方案

半導體製程中常見的 AMC 與 VOCs，可能來自清洗、蝕刻、化學供應、濕式製程、廢水系統與其他製程排放。若未有效處理，除了可能影響廠區空氣品質，也可能對製程設備、產品穩定性與環安管理造成壓力。
EcoShield Wet-Scrubber 針對多類型污染物設計高效削減機制，可有效處理酸性氣體、鹼性氣體、有機氣體及粒狀物。其中，酸性氣體可涵蓋 HF、HNO₃、HCl、H₂SO₄ 等；鹼性氣體則包含 NH₃；有機氣體則可處理 IPA、PGMEA、PGME 等常見半導體製程有機物。透過濕式洗滌與智慧控制整合，本系統可達成 VOC 去除率大於 90%、MA/MB 去除率大於 95% 的效益，協助客戶降低製程污染風險並提升廠區環境品質。