技術分享｜無塵室與空調設計之關鍵速算公式解析

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技術分享｜無塵室與空調設計之關鍵速算公式解析

精準的工程設計，始於扎實的數據推估。在現代高科技廠房與無塵室的建置中，精密的前期估算更是專案成功的基石。

為了協助工程師與規劃團隊在系統規劃初期能快速掌握關鍵數據，我們特別將多年實務經驗濃縮，整理出涵蓋換氣回數、空調噸數及水氣風車馬力等核心指標的「無塵室與空調設計實務速查指南」。期望透過系統化的圖解工具，協助業界夥伴優化前期規劃、大幅提升工程設計效率！

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2026.07.01

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2026.07.01

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2026.07.01

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EcoShield Wet-Scrubber 針對多類型污染物設計高效削減機制，可有效處理酸性氣體、鹼性氣體、有機氣體及粒狀物。其中，酸性氣體可涵蓋 HF、HNO₃、HCl、H₂SO₄ 等；鹼性氣體則包含 NH₃；有機氣體則可處理 IPA、PGMEA、PGME 等常見半導體製程有機物。透過濕式洗滌與智慧控制整合，本系統可達成 VOC 去除率大於 90%、MA/MB 去除率大於 95% 的效益，協助客戶降低製程污染風險並提升廠區環境品質。