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2026.07.01
技術專欄

永續捕手:有機氣體逸散防止操作箱,有效降低 VOC 排放

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永續捕手:有機氣體逸散防止操作箱,有效降低 VOC 排放

   在半導體與高科技製程中,設備清潔與維護是確保製程穩定的重要環節。然而,清機過程中若使用高揮發性清潔液體,容易產生揮發性有機化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs,並逸散至作業環境中。尤其當負壓排氣管道出現堵塞或排氣效率不穩定時,VOC 外洩風險將進一步提高,不僅可能影響作業人員健康,也會增加廠區環境排放負荷,成為企業推動 ESG 與環安衛管理時必須面對的重要課題。

 

面對製程清潔中可能超過 200 ppm VOC 排放問題,奇鼎科技(CHD TECH)有機氣體逸散防止操作箱導入密閉操作技術,透過類似微型手套箱的罩體設計,將清潔作業區域局部包覆,使高揮發性液體產生的 VOC 被限制於罩體內部,避免直接擴散至空氣中。此設計從污染源頭進行控制,可有效降低 VOC 外洩風險,提升人員作業安全與環境保護效益。

 

嵌入主製程機台的一體化創新方案

奇鼎科技(CHD TECH) 有機氣體逸散防止操作箱其中一項關鍵特色,是將手套箱導入並整合於主製程機台,形成嵌入結合式的創新設計。透過與機台作業流程整合,手套箱不再只是外加式防護裝置,而是可與製程清潔、污染控制、壓力監測及環安管理同步運作的一體化模組。

此設計有助於提升清潔效率 80% 以上,同時降低人員暴露風險與能源消耗。對高科技廠而言,這類模組化、可監測、可複製的解決方案,能快速導入不同廠區與相似製程場域,擴大 ESG 實踐效益。

 

以機台或廠務原有負壓系統作為 VOC 排除動力

奇鼎科技有機氣體逸散防止操作箱並非增加外掛式抽氣設備,而是利用機台或廠務原有排風管線的負壓作為 VOC 排除動力來源,將罩體內累積的污染氣體導入既有排氣路徑進行處理。此設計不需額外建置大型抽氣設備,可降低設備導入成本與能源消耗,同時避免因新增系統造成廠務配置複雜化。

 

透過微型手套箱罩體與既有排風負壓結合,清潔作業過程中產生的 VOC 能被侷限、導引並排除,形成「局部密閉、負壓導流、即時監控」的污染控制架構。相較於傳統開放式清潔作業,此方式可大幅降低人員暴露風險,並有效改善現場空氣品質。

 

整合壓力感測與 VOC 監測,提升管理可靠度

為確保手套箱罩體內部維持穩定負壓,本專案同步配置壓力感測器,即時監測罩體內壓力狀態。當壓力異常、負壓不足,或因既有排氣管道堵塞導致排氣效率不穩定時,系統可即時發現並進行調整,避免 VOC 因壓力失衡而外洩。

 

此外,透過導入廠務負壓與 VOC 監測機制,可將污染控制由傳統的被動防護,提升為可數據化管理的主動式監控。對高科技製造業而言,這不僅有助於強化環安衛管理,也能為 ESG 成效、永續報告與客戶稽核提供具體數據佐證。

 

兼具節能、減廢與低碳效益

有機氣體逸散防止操作箱技術的價值,不僅在於降低 VOC 外洩,更在於其具備低能耗、低耗材與高效率的永續特性。本專案利用機台或廠務原有排風管線

負壓作為動力來源,減少額外能源需求,預估可降低約 95% 能源浪費,並減少 99% 以上 VOC 外洩對環境與員工健康造成的危害。

 

同時,系統設計不需使用化學濾材,可降低耗材使用與後續廢棄物處理負擔。手套箱本體亦採用可回收材料設計,有助於提升資源再利用率,符合循環經濟與低碳製造趨勢。

 

VOC 防護走向永續競爭力

VOC 控制已不只是環保議題,更是高科技製造業維持製程穩定、保障員工安全、符合法規要求與提升永續競爭力的關鍵能力。

奇鼎科技透過手套箱技術,將密閉防護、負壓導流、壓力感測、VOC 監測低碳設計整合於同一系統中,協助客戶在製程現場落實 ESG 目標。未來,隨著半導體與高科技產業對低污染、低能耗與智慧化管理的要求持續提升,此類創新設備將成為廠務環安與永續製造的重要基礎。

 

永續捕手-有機氣體逸散防止操作箱不只是捕捉 VOC,更是捕捉製程安全、環境效益與企業永續競爭力的關鍵解方。

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2026.07.01
技術專欄

永續盾牌:EcoShield Wet-Scrubber,打造高科技製程的智慧防護方案

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EcoShield Wet-Scrubber 針對多類型污染物設計高效削減機制,可有效處理酸性氣體、鹼性氣體、有機氣體及粒狀物。其中,酸性氣體可涵蓋 HF、HNO₃、HCl、H₂SO₄ 等;鹼性氣體則包含 NH₃;有機氣體則可處理 IPA、PGMEA、PGME 等常見半導體製程有機物。透過濕式洗滌與智慧控制整合,本系統可達成 VOC 去除率大於 90%、MA/MB 去除率大於 95% 的效益,協助客戶降低製程污染風險並提升廠區環境品質。

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