永續盾牌：EcoShield Wet-Scrubber，打造高科技製程的智慧防護方案
永續盾牌：EcoShield Wet-Scrubber，打造高科技製程的智慧防護方案
在半導體與高科技製程中，氣態分子污染物（Airborne Molecular Contamination, AMC）與揮發性有機化合物（Volatile Organic Compounds, VOCs）是影響製程穩定、產品良率與廠區環安的重要風險來源。隨著先進製程對潔淨度、排放標準與永續管理要求日益提高，傳統濕式洗滌塔雖可作為廢氣處理的重要設備，但在處理效率、耗水耗電、即時監控與失效預警方面，仍面臨許多挑戰。
尤其在半導體製程廢氣成分日益複雜的情況下，酸性氣體、鹼性氣體、有機氣體與細微粒子若無法被穩定削減，不僅可能造成廠區環境負荷，也會增加後端廢水處理壓力與營運成本。面對傳統 local scrubber 效率波動大、維護頻繁、耗水耗能高、缺乏即時監控，以及長期仰賴國外設備商等問題，奇鼎科技(CHD TECH) 提出 EcoShield Wet-Scrubber 智慧洗滌解決方案，協助高科技產業從污染控制走向節能減碳與智慧化管理。
整合智慧監控與失效預警，提升管理可靠度
奇鼎科技-EcoShield Wet-Scrubber的重要突破，在於將濕式洗滌設備與 AMC 智慧監控整合，突破傳統 scrubber 僅能進行污染物去除、卻缺乏即時監測與預警能力的限制。透過關鍵 AMC 物種即時監測與數據平台整合，系統可建立污染排放趨勢、用水調控邏輯與異常預警機制，使管理者能即時掌握設備運轉狀態與污染控制成效。
這樣的設計對高科技製造業尤其重要。過去許多廢氣處理設備多以定期巡檢與事後維修為主，一旦效率下降或系統異常，可能已造成環境排放或製程風險。EcoShield Wet-Scrubber 則透過即時監控、數據分析與失效預測，讓廠務與環安管理單位能在問題擴大前即時因應，提升系統可靠度與營運韌性。
高效削減 AMC 與 VOC，穩定守護製程環境
半導體製程中常見的 AMC 與 VOCs，可能來自清洗、蝕刻、化學供應、濕式製程、廢水系統與其他製程排放。若未有效處理，除了可能影響廠區空氣品質，也可能對製程設備、產品穩定性與環安管理造成壓力。
EcoShield Wet-Scrubber 針對多類型污染物設計高效削減機制，可有效處理酸性氣體、鹼性氣體、有機氣體及粒狀物。其中，酸性氣體可涵蓋 HF、HNO₃、HCl、H₂SO₄ 等；鹼性氣體則包含 NH₃；有機氣體則可處理 IPA、PGMEA、PGME 等常見半導體製程有機物。透過濕式洗滌與智慧控制整合，本系統可達成 VOC 去除率大於 90%、MA/MB 去除率大於 95% 的效益，協助客戶降低製程污染風險並提升廠區環境品質。
兼具節水、節電與減碳效益
依據專案量化成果，與既有國外競品相比，奇鼎科技-EcoShield Wet-Scrubber可達成節水 18.2%、節電 14.3%，並具備綜合減能 14.5% 的效益。若以每廠 100 台設備需求估算，預期每年可節省製程用水約 365,000 噸、省電約 1,314,000 kW，並降低約 677.7 ton-CO₂e 的碳排放量。此成果顯示，污染防治設備不再只是成本支出，而能進一步轉化為節能、減碳與 ESG 績效的具體來源。
從設備改善延伸至責任供應鏈
奇鼎科技-EcoShield Wet-Scrubber的另一項價值，在於其具備在地化製造與模組化擴展的優勢。透過台灣在地製造與永續設計，可提升供應鏈韌性與透明度，降低對國外設備的依賴，也有助於縮短維修時程與降低維護成本。
在半導體產業高度重視供應鏈永續治理的趨勢下，設備不僅要具備技術性能，更需要回應客戶對 ESG、碳管理、環安衛與供應鏈責任的期待。EcoShield Wet-Scrubber 採用模組化設計，可依不同廠區、製程條件與排放特性快速導入，並可延伸應用至 single wafer cleaner、clean wafer、廢硫酸回收等濕式製程場域，形成可複製、可擴散、可長期累積效益的智慧防護方案。
符合 ESG 五大方向，推動產業永續升級
奇鼎科技-EcoShield Wet-Scrubber不僅是一項技術創新，更是高科技產業實踐 ESG 的具體案例。在綠色製造方面，EcoShield Wet-Scrubber 透過高效削減 VOCs 與 AMC，降低製程污染負荷，並同步達成節水、節電與減碳效益。在責任供應鏈方面，透過台灣在地製造、模組化設計與維護透明化，提升設備供應的韌性與長期價值。在健康共融職場方面，系統可降低化學物質逸散風險，改善廠區作業環境安全，守護員工健康。
同時，透過導入 AMC 監控、智慧預警與污染物數據管理，企業可將環境管理由經驗判斷轉化為數據治理，為永續報告、客戶稽核、法規遵循與內部改善提供更具體的依據。這也代表 EcoShield Wet-Scrubber 不只是設備端改善，更是企業永續治理能力升級的重要基礎。