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技術分享｜無塵室外氣量怎麼算？正壓量理論計算與半導體廠經驗公式解析

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技術分享｜無塵室外氣量怎麼算？

正壓量理論計算與半導體廠經驗公式解析

在潔淨室與廠房規劃中，如何維持穩定的正壓、防範外界微粒侵入，是確保製程良率的核心關鍵。而精準的「外氣量與正壓控制」，更是空調系統設計的重要基石。

為了協助規劃團隊快速掌握核心技術指標，我們特別將複雜的理論公式、半導體廠排氣經驗值與實務計算範例，濃縮為一張精華圖解。一圖在手，讓您在規劃初期就能輕鬆建立精準的初步工程藍圖！

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EcoShield Wet-Scrubber 針對多類型污染物設計高效削減機制，可有效處理酸性氣體、鹼性氣體、有機氣體及粒狀物。其中，酸性氣體可涵蓋 HF、HNO₃、HCl、H₂SO₄ 等；鹼性氣體則包含 NH₃；有機氣體則可處理 IPA、PGMEA、PGME 等常見半導體製程有機物。透過濕式洗滌與智慧控制整合，本系統可達成 VOC 去除率大於 90%、MA/MB 去除率大於 95% 的效益，協助客戶降低製程污染風險並提升廠區環境品質。