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產品與服務

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製程環境設備 製程精進服務

製程抗結晶系統(ACS)

• 維護周期延長4倍
• 易於維修和保養
• 高校氣流調節
• 安全自動控制
• 更高的熱效率
• 更長的使用壽命
• 更好的熱傳導率
• 穩定均勻的氣流

FUNCTION&BENEFITS

功能/效益

有效解決Hot plate在塗佈/顯影的結晶問題和損失

PM PERIOD

有效延長PM週期

PRODUCT ADVANTAGES

產品優勢

01 Advantages
降低停機頻率
降低停機頻率
Reduce Stop Time
02 Advantages
節能
節能
Energy Saving
38-63
38-63
%

PRODUCT APPLICATIONS

產品應用

搭接設備

Coater/Developer

Coater/Developer

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半導體製程
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