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PRODUCTS AND SERVICES

產品與服務

製程環境設備 製程精進服務

有機氣體逸散防止操作箱(AOB)

• 防止機台定期保養的氣懸分子汙染物逸散,其可架設於機台
特定位置。
• 金屬骨架及抗侵蝕塗層防眩光面板,大幅提升使用者操作之
視線及耐受性。
• 可與廠務端之負壓源連結,製造穩定流場並有效排出VOC。
• 緊貼包覆使用者手臂的軟性材料;防止腔體內部的氣懸分子
汙染物逸散。
• 對稱式的設計,適用於同一機型的左、右兩種腔體,應用靈
活度層面,有著更高的通用性。

PRDOUCT TYPES

產品型號

 有機氣體逸散防止操作箱(Anti-Outgassing Box)預防PM時VOCs逸散,有效維持製程環境

  • AOB-A Direct Type

    手部直接操作-靈活動高逸散防止效果稍差
  • AOB-B Glove Type

    完全阻隔-安全度高逸散防止效果高
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