パネル製造、ウェハー工場、IC封止等の検査工場で精密溫湿度制御を提供し、露光機と塗布・現像設備の良品率アップを促進させることが出来ます

製品エッチングと現像工程の良品率向上、露光装置鏡面の曇りを防止し、機器の長寿命化。

清浄度の制御、ガス状分子汚染物の除去

プロセス環境に対し、重点エリアのクリーン制御を提供。