| 機能 |
| パネル製造、ウェハー工場、IC封止等の検査工場で精密溫湿度制御を提供し、露光機と塗布・現像設備の良品率アップを促進させることが出来ます |
| 仕様 |
| • 清浄度制御：ISO Class 1 |
| • 温度制御精度： ±0.1℃ ~ ±0.01℃ |
| • 湿度制御精度：±2%RH ~ ±0.5%RH |
| • 装置に内蔵された温湿度プロファイル資料、警報装置 （アラーム）、遠隔監視制御と自動防御機能付き。 |
| 応用種類 |
| • 産業分類： 半導体製造、フラットパネルディスプレイ（FPD）、精密機器工業加工、精密測量、学術研究 |
| • サプライチェーン：パネル製造、カラーフィルター、ウェハー製造とIC封止等の検査工場 |
| • 応用範囲：RGBレジスト塗布、露光現像、レンズ研削レーザー加工、幾何学の寸法測量 |
| • クライアント：半導体封止、測定の工場、パネル製造の工場 販売量 > 500 ユニット |
