| 機能 |
| 製品エッチングと現像工程の良品率向上 露光装置鏡面の曇りを防止し、機器の長寿命化 装置内部の腐食を防止する（銅管類材質） |
| 仕様 |
| •清浄度制御： ISO Class 4 |
| •温度制御精度：±0.5℃ ~ ±0.05℃ |
| •湿度制御精度：±5%RH ~ ±0.5%RH |
| •飛散汚染物質分子除去：>80% in Main AMC |
| •装置に内蔵された温湿度プロファイル資料、 警報装置（アラーム） 、遠隔監視制御と自動防御機能付き。 |
| 応用種類 |
| •産業分類：半導体製造、フラットパネルディスプレイ（FPD） |
| •サプライチェーン：パネル製造、カラーフィルタ、ウェハー製造とIC封止等の検査工場 |
| •応用範囲：RGBレジスト塗布、露光現像、露光装置鏡面の曇りの防止 |
