プロセス環境に対し、重点エリアのクリーン制御を提供。
| 機能/メリット |
| プロセス環境に対し、重点エリアのクリーン制御を提供します。セパレート式設計を採用し、プロセス設備が振動の影響を受けるのを防ぐことができます。 |
| 仕様 |
| • 清浄度：ISO Class 1 |
| • 機械のアラーム信号をアップロード：当ユニットのアラーム信号とプロセス設備機との接続ができます |
| 応用 |
| クリーンエアーが要求される環境に対して |
| • 製造業：半導体、パネル製造、ICパッケージテスト、伝統産業 |
| • クリーン環境：製薬メーカー 、バイオテクノロジー産業、病院/手術室/病室 |
