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保護エリア

• 露光装置外気進入

• 露光装置ライトボックス

清浄度の制御

• Class 10~1000/ISO Class 4~6

ガス状分子汚染物の除去

• NH3

• Acid

• TOC

機種	HPU
エアー供給量	30/50/70/100/150/220/300 m3/min
AMC 除去プラン	ケミカルフィルター

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