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提供晶圆厂、封装测试厂、面板业精密温湿度控制, 确保曝光、显影、涂布等设备制程良率
防止曝光机镜面雾化、化学污染物腐蚀机台内部组件
洁净度控制、气状分子污染物去除
提升制程洁净度至ISO Class 1,采分离式设计,可避免制程设备受到震动影响