| 功能/效益 |
| 提供面板业、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制确保曝光机、显影/涂布设备等制程良率 |
| 规格 |
| • 洁净度控制：ISO Class 1 |
| • 温度控制精度： ±0.1℃ ~ ±0.01℃ |
| • 湿度控制精度：±2%RH ~ ±0.5%RH |
| • 机台内建温湿度曲线数据 |
| • 机台警报、远程监测及自动防护等功能 |
| 应用 |
| • 产业别： |
| 半导体制造、薄型平面显示器（FPD）、精密机械加工、精密测量、学术研究 |
| • 供应链：晶圆制造、封装测试、面板制造、彩色滤光片 |
| • 制程应用：光阻涂布、曝光显影、镜面/头研磨、雷射加工、几何尺寸测量 |
