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针对製程环境提供重点区域的洁淨控制。

功能/效益

针对製程环境提供重点区域的洁淨控制採分离式设计，可避免製程设备受到震动影响

规格

• 洁淨度：ISO Class 1

• 机台警报讯号上传：可提供AFU洁淨送风机组警报讯号与製程设备机台连线

应用

对洁淨空气要求之环境

• 製造业：半导体、面板製造、IC封测、传统产业

• 洁淨环境：药厂、生技产业、医院/手术房/病房

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