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有機溶劑回收設備 (Solvent Recycle Unit,SRU)

簡介

功能/效益
由於Coating製程中塗佈噴頭需不斷地清洗,遂利用Coater VCD exhaust之氣體,藉由熱交換器及純化裝置將其中solvent搜集並存放於儲液槽內,純化後的solvent經washer噴灑在塗布噴頭上,以達清洗目的。
規格
• 回收有機氣體、擷取有效之光阻劑
• 大幅降低新液使用量
• 最合理、實用的管路系統設計
• 高效能回收率
• 設備保固期:非人為因素下1年
• Up time >99% (即使設備shut down亦不影響機台運作)
廠務端需求條件說明
PCW 水溫依各廠而訂
PCW 流量依照pump風量去訂定
電力規格1ψ/220V/60H
Drain Port1/2"
設備規格條件說明
尺寸客製化設計
運轉噪音70 dB(A)
處理風量5-40 CMM
回收能力(提供計算式)高效能回收率
安全措施1. Solvent Tank 壓力監視與卸壓保護
2. 漏液偵測
3. 蜂鳴警報/燈號顯示運轉狀態
4. 加設人機介面監控及簡易操作
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