| 機能 |
| Coatingのプロセスでは、塗布ノズルを常に洗浄しなければならないため、Coater VCD exhaustの気体を回収しています。当社の有機溶剤回収設備は回収し気体から回収したソルベントを純化した再利用いたします。 PGMEA Coaterに適用。 |
| 仕様 |
| • 有機気体を回収し、有効なフォトレジスト剤を再利 用可能 |
| • 新液の使用量を大幅に削減 |
| • Solvent回収率60%以上 |
| • Up time >99%（VCD Coater設備がshut downしても本体の運転へ の影響はありません） |
| お客様の仕様リクエスト | 条件 |
| PCW 水温 | 各工場の規格によります |
| PCW 流量 | 各工場の規格によります |
| 電力規格 | 1ψ/220V/60H |
| Drain Port | 1/2" |
| 設備仕様 | |
| 寸法 | 実際のサイズはdry pumpの仕様とお客様のオプション項目により異なります |
| 運転時騒音 | 70 dB(A) |
| 処理風量 | 5-40 CMM |
| 回収能力(計算式を提供) | >60% |
| アラーム機能 | 1. Solvent Tank 圧力監視・圧力放出による保護機能付き 2. 液漏れ検測機能付き 3. ブザー警報/ランプによる運転状態表示機能付き |