MA&MB関連の汚染物を除去し、プロセスの危害を削減します。
| 機能/メリット |
| MA&MB関連の汚染物を除去し、プロセスの危害を削減します MA&MB汚染物700ppb以下 除去性能は90%以上 従来型ノズルポンプの電力消費量を90%以上節約 水洗システムの圧力損失が減り、ファンの電力消費を10％節約 空気品質を高めて、効果的に細菌を抑制 |
| 仕様 |
| •液ガス比（L/G）：≦0.1 |
| •圧力損失：40 Pa @V=2.5 m/s for D=150 mm |
| •サイズ規格：カスタマイズ |
| 応用 |
| •製造業：半導体、パネル製造、ICパッケージテスト、伝統産業 |
| •除菌環境：製薬メーカー、バイオテクノロジー産業、消費市場 |