単一機械/回路に対し、FFUが命令、監視、故障信号の記録、スケジュール制御を行うことができ、モニタリングが容易で、ソフトウェアが扱いやすく、ユーザーが簡単に検査や修理ができます。
| 仕様 |
| 電圧：単相120V/220V/277V |
| 電力の上限：4’X2’<200W, 4’X4’<350W |
| 端子の規格：Y型端子（Y1.25-3） |
| 清浄度：ISO Class 10〜100K |
| 一般の単相交流（AC）モーターに適し、セクション式速度調整ができます |
| 応用 |
| FFU以上のクリーンルームシステムを50台有します |
| 製造業：半導体、パネル製造、ICパッケージテスト、伝統産業 |
| 除菌環境：製薬メーカー、バイオテクノロジー産業 |
| 特長 |
| ￭ 社内全自動風洞実験室評価済み ￭ 全自動漏れ探知スキャナー ￭ お客様の仕様に合わせた設計製造 ￭ 気流シミュレーションで品質を確保 ￭ 優れた操作性 |
| 使用環境 |
| ￭ クリーンルームシステム ￭ デバイスに搭載 ￭ ストッカー（Stocker） ￭ クリーンブース(Chamber) |
