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N2

氮氣純化系統(N2 Booth & Purifier)

提供高潔淨度與高純度作業環境

簡介

功能/效益
提供高潔淨度與高純度作業環境
氣體純化器(purifier),去除水、氧氣與有機物質
環境維持無水無氧的狀態,正向提升良率
規格
• 手/自動控制系統隨時控制工作環境的狀態
• 系統參數記錄、自動提示、警報功能
• 真空幫浦停止運轉後具有逆止功能
• PLC可程式控制器搭配觸控人機介面操控
• 可設定自動/手動壓力控制系統
• 工作壓力範圍:-14.5mbar ~ 14.5mbar
• 水份偵測器:0-1000PPM
• 氧氣偵測器:0-1000PPM
應用
• 半導體製造、光電業、製造精密、OLED面板製造
• 薄膜太陽能、鋰電池、奈米製程
• 氮氣輔助塑膠射出成型
• 製程應用、真空鍍膜、電極印刷、貼合
• 氮分散及聚合、射出成型
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