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曝光機鏡組霧化防護機組(更換型) (Hazing Prevention Unit, HPU)

簡介

保護區域
• 曝光機外氣進氣
• 曝光機燈箱
潔淨度控制
• Class 10~1000/ISO Class 4~6
氣狀分子汙染物去除
• NH3
• Acid
• TOC
機種HPU
供氣量30/50/70/100/150/220/300 m3/min
AMC去除方案化學濾網
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