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高吸附潔淨水洗機組 (High-absorption Clean Washer, HCW)

去除MA&MB相關污染物,減少製程危害。

簡介

功能/效益
去除MA&MB相關污染物,減少製程危害
MA&MB污染物於700ppb以下
去除性能可達90%以上
有效節省傳統式噴頭水泵耗電量達90%以上
減少水洗系統壓損,節省風機用電達10%
提升空氣品質,有效抑菌
規格
•液氣比(L/G):≦0.1
•壓損:40 Pa @V=2.5 m/s for D=150 mm
•尺寸規格:客製化
應用
•製造業:半導體、面板製造、IC封測、傳統產業
•除菌環境:藥廠、生技產業、消費型市場
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