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AFU

製程潔淨控制機組 (Air Filter Unit, AFU)

針對製程環境提供重點區域的潔淨控制。

簡介

功能/效益
針對製程環境提供重點區域的潔淨控制, 採分離式設計,可避免製程設備受到震動影響
規格
• 潔淨度:ISO Class 1
• 機台警報訊號上傳:可提供本機組警報訊號與製程設備機台連線
應用
對潔淨空氣要求之環境
• 製造業: 半導體、面板製造、IC封測、傳統產業
• 潔淨環境: 藥廠、生技產業、醫院/手術房/病房
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