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效益
低成本、高效率、無耗材
可控制ppb~ppm level濃度
去除效率可達90%以上，且不隨時間改變
規格
風量50 / 100 / 150 cmm
可去除物種去除率>90%
酸SO2 HF HCL NO2 NO3
鹼NH3
揮發性有機物PGME PGMEA NMP IPA MEA
應用
• 產業別：半導體產業、光電產業
• 供應鏈：晶圓代工廠、封裝測試廠
• 製程應用：Single Wafer Cleaner 、Coater、Stripper
ABOUT US
  • 奇鼎科技股份有限公司
  • CHYI DING TECHNOLOGIES CO., LTD.
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