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針對製程環境提供重點區域的潔淨控制採分離式設計,可避免製程設備受到震動影響
提供晶圓廠、封裝測試廠、面板業精密溫濕度控制確保曝光機、顯影/塗佈設備等製程良率
防止化學汙染物腐蝕機台內部元件
潔淨度控制、氣狀分子汙染物去除
提供高潔淨度與高純度作業環境
氮氣手套箱
高階製程半導體線上有機物分析、酸鹼物質分析
塗佈機Solvent回收設備
可找出污染的遷徙路徑和干擾
去除MA&MB相關污染物,減少製程危害
符合RoHS規範
結合風機與高效濾網(HEPA/ULPA Filter)的氣流循環淨化設備
污染物去除與溫、濕度調節功能
智慧節能控制模組化安裝
效益益顯
利用光觸媒及紫外光將紫外光燈管產生之臭氧直接轉換成氫氧自由基,極速分解細菌病毒及有機揮發性有害氣體。
無塵、無菌室設計規劃及施作
機動連續即時監測