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循環経済
有機溶剤回収設備
有機気体を回収し、有効なフォトレジスト剤を再利用可能
サーマルプロセス設備の省エネシステム
排熱装置heat exhaustの熱量を回収し、熱伝導を利用して、常温のきれいな空気を加熱します。
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