| 功能/效益 |
| 由于Coating制程中涂布喷头需不断地清洗，遂利用Coater VCD exhaust之气体，藉由热交换器及纯化装置将其中solvent搜集并存放于储液槽内，纯化后的solvent经washer喷洒在涂布喷头上，以达清洗目的。 |
| 规格 |
| • 回收有机气体‧撷取有效之光阻剂 |
| • 大幅降低新液使用量 |
| • 最合理、实用的管路系统设计 |
| • 高效能回收率 |
| • 设备保固期：非人为因素下1年 |
| • Up time >99% (即使设备shut down亦不影响机台运作) |
| 厂务端需求 | 条件说明 |
| PCW 水温 | 依各厂而订 |
| PCW 流量 | 依照pump风量去订定 |
| 电力规格 | 1ψ/220V/60Hz |
| Drain Port | 1/2" |
| 设备规格 | 条件说明 |
| 尺寸 | 客制化设计 |
| 运转噪音 | 70 dB(A) |
| 处理风量 | 5-40 CMM |
| 回收能力 | 高效能回收率 |
| 安全措施 | 1. Solvent Tank 压力监视与卸压保护 2. 漏液侦测 3. 蜂鸣警报/灯号显示运转状态 4. 加设人机接口监控及简易操作 |