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去除MA&MB相关污染物，减少製程危害。

功能/效益
去除MA&MB相关污染物，减少製程危害
MA&MB污染物于700ppb以下
去除性能可达90%以上
有效节省传统式喷头水泵耗电量达90%以上
减少水洗系统压损，节省风机用电达10%
提升空气品质，有效抑菌
规格
•液气比(L/G)：≦0.1
•压损：40 Pa @V=2.5 m/s for D=150 mm
•尺寸规格：客製化
应用
•製造业：半导体、面板製造、IC封测、传统产业
•除菌环境：药厂、生技产业、消费型市场
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