无尘、无菌室设计规划及施作
功能/效益 |
• 无尘、无菌室设计规划及施作 • Fed-209D/E or ISO-14644 (依客户指定) • HEPA洩漏测试、温湿度、风量、风速、 噪音、照度、绝缘阻抗、消费电力、测量/测试… |
规格 |
等级:Class 1 ~ Class 100,000 |
温度:18~24℃ ±1~±3℃ |
溼度:40~60% RH ±3%~5% |
应用 |
• 空调:无尘室空调、一般空调、中央冷/热水等系统 |
• 内装:无尘室新设及改装、办公室装修、地板工程 |
• 电力:高低压变电设备管线配置、机台配电 |
• 监控:厂务监控系统整合、特殊设备监控 |
• 消防:气体灭火系统、撒水、警报… |
• 製程系统(inlet/outlet): DI、PCW、CDA、N2、PV… |