FB

效益

温度、湿度与气流调节
机台警报、远程监控与自动防护功能

应用

产业别：半导体制造、薄型平面显示器FPD

供应链：晶圆制造、封测、面板制造、彩色滤光片

制程应用：光阻涂布、曝光显影

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