| 功能/效益 |
| 由於Coating製程中塗佈噴頭需不斷地清洗，遂利用Coater VCD exhaust之氣體，藉由熱交換器及純化裝置將其中solvent搜集並存放於儲液槽內，純化後的solvent經washer噴灑在塗布噴頭上，以達清洗目的。 |
| 規格 |
| • 回收有機氣體、擷取有效之光阻劑 |
| • 大幅降低新液使用量 |
| • 最合理、實用的管路系統設計 |
| • 高效能回收率 |
| • 設備保固期：非人為因素下1年 |
| • Up time >99% (即使設備shut down亦不影響機台運作) |
| 廠務端需求 | 條件說明 |
| PCW 水溫 | 依各廠而訂 |
| PCW 流量 | 依照pump風量去訂定 |
| 電力規格 | 1ψ/220V/60H |
| Drain Port | 1/2" |
| 設備規格 | 條件說明 |
| 尺寸 | 客製化設計 |
| 運轉噪音 | 70 dB(A) |
| 處理風量 | 5-40 CMM |
| 回收能力(提供計算式) | 高效能回收率 |
| 安全措施 | 1. Solvent Tank 壓力監視與卸壓保護 2. 漏液偵測 3. 蜂鳴警報/燈號顯示運轉狀態 4. 加設人機介面監控及簡易操作 |