線上揮發性有機物分析
| 功能/效益 |
| 高階製程半導體線上有機物分析分析 整合分析系統及自動採樣系統成為單一機台 遠端搖控及資料庫，降低分析人力及時間 |
| 規格 |
| • ITRS建議監測物種 |
| • ~sub-ppb偵測極限 |
| • 每15分鐘一筆分析數據資料 |
| • 單台系統監測區域可達64點，亦可客製化製作 |
| • 150m取樣距離 |
| • 自動化軟體搭配NIST資料庫比對 |
| • AMC趨勢分析 |
| 應用 |
| • 產業別：半導體產業、光電產業 |
| • 供應鏈：晶圓代工廠、封裝測試廠、晶圓儲存盒(FOUP)、面板製造廠 |
| • 製程應用：黃光製程、蝕刻製程、化學氣相沉積製程、無塵室環境、晶圓儲存 |
